设备名称：多功能硅片测试系统

设备型号：MS103

设备厂商：上海星纳电子科技有限公司

设备简介：

    厚度：100μm ~ 1000μm；厚度精确度：≤±1.0 μm；重复性（1δ）：1δ≤0.15 μm；线性度：≤±0.3%；TTV: 0.0μm ~ 200.0μm；（相同测试点）绝对偏差：≤±0.5 μm；（相同测试点）重复性：1δ≤0.15 μm

测试范围：

    硅片及其他半导体晶片厚度及厚度变化、晶片弯曲度、翘曲度测试。

联系人：杨学根    电话：0518-87027282