设备型号：WT-2000PVN

设备厂商：匈牙利 Semilab

设备简介：

    测试多晶硅锭，硅片中的少数载流子寿命及体电阻率；可测试硅块最大尺寸：156mm X 156mm X 270mm（长 X 宽 X 高）；可测试硅片的尺寸：210mm X 210mm（长 X 宽）；可以做扫描测试, 对硅片（块）可做全面扫描 ；扫描分辨率 0.5,1,2,4,8,16mm可自行选择 ；具备自动寻找边缘，用于不同形状、尺寸的硅片（锭）测试；少子寿命测试方法为无接触、无损伤测试的光电导衰减法（μ-PCD法）；可以对电阻率范围 0.1 – 1000 Ω.CM硅材料样品进行寿命测试；激光光源波长：904nm；光源脉冲宽度：200ns，fail time 10ns；少子寿命测试范围：0.1 μs – 30 ms；少子寿命测试分辨率：0.1%；少子寿命测试重复性：≤5%；体电阻率测试方法为无接触涡流场技术；体电阻率测试范围：0.5 to 20Ω.CM；体电阻率测试准确度：≤4%；体电阻率测试重复性：≤2%

测试范围：

    可测半导体材料尤其是晶体硅材料、太阳能电池片少数载流子寿命、Fe含量测试，以及涡流法测试半导体材料体电阻率。

联系人：杨学根    电话：0518-87027282