设备名称:多功能硅片测试系统
设备型号:MS103
设备厂商:上海星纳电子科技有限公司
设备简介:
厚度:100μm ~ 1000μm;厚度精确度:≤±1.0 μm;重复性(1δ):1δ≤0.15 μm;线性度:≤±0.3%;TTV: 0.0μm ~ 200.0μm;(相同测试点)绝对偏差:≤±0.5 μm;(相同测试点)重复性:1δ≤0.15 μm
测试范围:
硅片及其他半导体晶片厚度及厚度变化、晶片弯曲度、翘曲度测试。
联系人:杨学根 电话:0518-87027282
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