设备型号：X Series 2

设备厂商：美国Thermo Fisher

技术参数：

    灵敏度：中质量数 > 100 M cps/ppm；高质量数 > 100 M cps/ppm；随机背景 < 0.5 cps (220amu)（安捷伦为5cps，PE为1cps，越低为背景越低，信噪比越高）；仪器信噪比 >200M ( 信噪比=灵敏度/随机背景,1ppm In 溶液计算)；氧化物离子 (MO+/M+)  < 2 %

仪器检出限：

    低质量数元素Co（59）< 10 ppt，中质量数元素In (115) < 1 ppt，重质量数元素 Bi (209) < 1 ppt，短期稳定性 (RSD) < 2 % (不用内标)；长期稳定性 (RSD) < 3 % (4 小时) (不用内标)(使用1ppb标准元素溶液)；质谱校正稳定性 < 0.05 amu/一天，<0.1amu/一个月同位素比精度 < 0.2 %  ¹⁰⁷ Ag/¹⁰⁹ Ag，代表元素检出限(ng/L) ：Be<10；In<5；U<5；Cd<2；Tl<2；B<5；As<2

仪器特点：

    采用高耐盐，高精度，高效率同心雾化器；雾化室：小死体积，低记忆效应，配置Peltier 半导体制冷装置对雾化室制冷控温，雾化室制冷温度控制要求可以达到 ≤ -10 0C；接口： Ni材料锥口，口径要求足够大，以便耐样品溶液所含的基体。样品锥口口径 1.1 mm, 截取锥口径  0.75 mm。质量流量计：等离子体气，辅助气，雾化气三路质量流量计； ICP 源：27.12 MHz  固体晶体稳频RF 发生器,频率稳定性< ±0.01%；RF 功率稳定性 < 0.01%；快速三级高真空系统：工作时真空度 <2×10- 6 乇，从大气压开始抽至可工作的真空度的时间小于20分钟；离子光学：低背景的离轴 四极杆质谱仪系统；四极杆： Mo 质四极杆, ＲＦ频率2.0 MHz；四极杆质谱仪是可靠的免拆洗系统；脉冲模拟双模式同时型电子倍增器， 可以在一次样品测试中同时完成扫描和跳峰分析；等离子体炬位调整: 由计算机三维(X,Y, Z 方向)控制；数据采集：拥有60000道以上的多通道数据分析系统，以适应瞬间信号分析要求；质谱范围：2-255amu；仪器分辨率在一次样品分析中可变，以便通过变化分辨率降低干扰，扩大分析元素的浓度分析范围。

测试范围：

    可检测最高7个9纯度的多晶硅、高纯石英砂及其他非金属样品中金属杂质含量。

联系人：杨学根    电话：0518-87027282